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项目概况

东南大学微纳系统国际创新中心无掩膜激光直写光刻机采购招标项目的潜在投标人应在南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8号综合体B3栋16层获取招标文件，并于2021年11月05日14点30分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：JSHC-2021090615C6

项目名称：东南大学微纳系统国际创新中心无掩膜激光直写光刻机采购

预算金额：人民币伍佰零肆万元整（¥504万）

最高限价：人民币伍佰零肆万元整（¥504万）

采购需求：东南大学微纳系统国际创新中心采购无掩膜激光直写光刻机一台（套），主要技术要求如下：

1.设备组成：1、温控防尘罩；2、高精密透镜模块及DMD模块；3、半导体激光器（Diode Laser）；4、工作平台装置；5、定位激光干涉仪；6、主机电器控制装置；7、图形转换软件及系统操作计算机；8、大理石或花岗岩机座及气浮减震装置。

2.须具备两种不同波长的光源；曝光用光源及波长：(1) 405nm Diode Laser；(2) 375nm UV Diode Laser。

3.直写速度：在100×100mm的刻写幅面下，须达到≤35 min；可进行128阶灰度曝光；配置高深宽比模块，透过调整聚焦深度，以优化膜厚较厚的光刻胶侧壁粗造度；配置单元图形对准功能，对晶圆上的各个单元图形进行逐一对准，并对每个单元图形进行逐一曝光。

最大直写面积≥ 200mm x 200mm；配置背向对准功能，背向对准精度≤1000nm。

合同履行期限：详见采购文件。

本项目不接受联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：

1.1具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照复印件并加盖公章）；

1.2具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度【提供近一年（2020年10月至开标当日）任一月份的资产负债表和利润表或2019/2020年度审计报告，或银行出具的针对本项目的资信证明，或财政部门认可的专业担保机构出具的投标担保函】；

（法人或者其他组织成立未满一年的可以不提供）

1.3具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（根据项目需求提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料或承诺函）；

1.4有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录【提供近一年（2020年10月至开标当日）任一月份的依法缴纳税收的凭据，以及缴纳社会保险的凭据（专用收据或社会保险的凭据）。依法免税或不需要缴纳社会保障资金的投标供应商，应提供相应文件证明】；

1.5参加本次采购活动前（2018年10月01日至2021年10月01日）在经营活动中没有重大违法记录，提供参加本次采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明；

1.6投标供应商须提供法定代表人授权书原件、法定代表人身份证复印件、授权代表身份证复印件（如果是法定代表人直接参与投标的可以不提供授权书）。

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：非专门面向中小企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。

3.本项目的特定资格要求：无。

4.本项目接受进口产品投标（注：本文件所称进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品），如果所投产品是进口产品需提供生产厂商针对该项目的销售代理授权委托书。

5.拒绝下述供应商参加本次采购活动:

5.1为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的；

5.2供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的采购活动；

5.3被“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)或中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人、政府采购严重违法失信行为记录名单的。

三、获取招标文件

时间：2021年10月14日至 2021年10月20日，每天上午09:00至11:30，下午13:30至17:00（北京时间，法定节假日除外）

地点：南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8号综合体B3栋16层。

方式：受疫情影响，本项目接受网上获取采购文件。

售价：¥600（采购文件售后一概不退）

获取采购文件须提供的资料：加盖公章的授权委托书原件或扫描件、加盖公章的被委托人身份证复印件或扫描件，及汇款凭据的截图。

获取采购文件电话：025-83609978    邮箱：jshc9999@163.com

以下为本公司对公支付宝付款码：（转账时请务必备注615C6+公司名称）

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

2021年11月05日14点30分（北京时间）

地点：南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8号综合体B3栋16层开标大厅

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

凡参加投标的相关人员，应在投标截止时间前完成以下程序:

（1）所有人员必须提供苏康码的绿色健康码才能进入会场；

（2）进入开标大厅时必须佩戴口罩,不得随意走动。

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

　　　1.采购人信息

名 称：东南大学

地址：南京市四牌楼2号

联系方式：

微电子学院: 窦老师    19827006184

实验室与设备管理处：刘老师 025-83792693

2.采购代理机构信息

名 称：江苏省太阳集团有限公司

地址：南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8号综合体B3栋16层

联系方式：陶工/张工   025-83603328

3.项目联系方式

项目联系人：陶工/张工

电　话：025-83603328

江苏省太阳集团有限公司

          2021年10月13日